仪器

         配置及技术参数

                                    应用及特色项目

   扫描电镜SEM

         主要配置:

         EDS:布鲁克30mm双探测器（分辨率123eV）；

         EBSD：定向背散射电子探测器；

         高分辨红外CCD；

         气体二次电子探测器；

         超高真空系统；高真空/低真空/环

         境真空系统，压差光镧。

         抛光机；切割机；脆断/冷镶设备；

         打磨机

         技术参数：

         支持环境模式；

         分辨率：环境扫描电子显微镜：3-8nm

         冷场扫描电子显微镜：0.8-1.2nm

                  物质的形貌0/尺寸分析、膜层分析、EDS元素分析（定性、定量、线分布、面分布、

                  超级面分布）、活体细胞观察、失效分析、金相分析等。广泛用于材料、化学、

                   生物、医学、地质等各类领域

  透射电镜TEM

        主要配置：

         单球差校正器；

         EDS：INCA能谱仪

         离子减薄，激光超薄切片机。

         技术参数：

         分辨率：亚Å级

                  物质的形貌/尺寸观察、电子衍射图片，二维晶格面、明/暗场图片、元素分析

                （定性、定量、线分布、面分布、超级面分布）。广泛用于材料、化学、生物、

                  医学、地质等各类领域

原子力显微镜AFM

         分辨率：分辨率0.1nm

         台阶0.3nm-500nm

                  物质的表面形貌成像、镜片/磁盘分析、表面粗糙度、纹理质量